真空滲氮也被稱為真空排氣式氮碳共滲，顧名思義，真空滲氮技術就是真空爐通過真空技術，清凈和活化金屬表面。在加熱、保溫、冷卻的過程中，排出微量氣體，輸入具有活化功能的氣體。通過真空滲氮技術可以增強真空爐的硬度和韌性。
    如果材料中的含鉻量非常高，其硬度也會增加。單相ε化合物層的硬度隨著材料的含鉻量是這樣變化的：當材料的含鉻量是13%時，硬度是1200HV，當材料的含鉻量達到18%時，硬度便達到1500HV。當材料的含鉻量是25%時，硬度高達1700HV。高含鉻量的單相ε化合物層的耐磨性非常的高，耐高溫、耐低溫、耐磨損。單相ε化合物層硬度大，韌性較差，所以在鑄造初期，容易導致鍛模發生龜裂，在焊接修補時真空爐易出現針孔。

    真空滲氮技術可以硬化鋼質，真空滲氮和離子滲氮的原理是不同的，真空滲氮需要先將鋼材放入真空爐中進行加熱，加熱完成后，沖入少量的氣體。然后氮原子慢慢向鋼材中滲透擴散，逐漸實現硬化。而離子滲氮是僅僅加熱鋼材的表面，然后活性氮離子僅僅滲透到鋼材的表面，然后發生一系列的化學反應，使得鋼材硬度增大。通過離子滲氮技術加工的鋼材不如真空滲氮技術加工的鋼材材質好，由于這種技術只需要加工鋼材的表面，所以不需要真空爐來加熱。
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