首先在準備作業前，操作人員要確保進入單晶爐車間時穿戴好統一干凈的服裝。在單晶爐開爐前，做好相應的檢查工作。準備好防塵口罩，馬金，一次性手套等常用用品。各類工具準備齊全。爐子在開始使用前，要對單晶爐進行清理。

   由于單晶爐的設備型號的不同，因此今天給大家介紹的步驟是常用單晶爐的操作步驟，具體到實際操作，還要根據型號而定。

   首先在單晶爐作業前，要做好準備工作，然后開始進行熱態檢漏，檢漏的要求在3分鐘以上，同時要做好記錄。接下來將單晶和籽晶取出，冷卻后要對單晶進行參數檢測，同樣需要做好記錄。接著將石墨件取出做好冷卻工作，之后要對進行重量檢測并做記錄。然后在通過真空過濾器來進行清洗，真空泵油的檢查更換。完成以上步驟，就要開始對石墨，單晶爐的室內進行清洗了，知道確認沒有污物為止。接下來就是對石墨的，石英坩堝，籽晶進行安裝，然后進行抽空繼續檢漏。最后引晶，縮頸，放肩，轉肩，然后等徑生長。最后單晶爐就進入收尾工作了。

（編輯：xiaoying）