單晶爐在運作過程中因為一直都會處于高溫的狀態下，對其他的零部件要求高且嚴格，因為需要維持長時間的工作，所以需要特別注意定期進行必要的維護保養。

1、坩堝驅動裝置要求的運動精度比較高，是設備的核心運動部件，應重點維護。坩堝軸是石墨坩堝的支撐軸，應隨時檢查其冷卻水的情況，以免燒損。

坩堝驅動采用滾珠絲杠和直線導軌結構，是坩堝驅動的關鍵部件，需保持清潔，嚴禁灰塵、雜物附著，并定期涂抹潤滑脂。

2、籽晶旋轉及提升機構的維修

籽晶旋轉及提升機構也是單晶爐的關鍵部件，該部件運行的好壞直接影響單晶的生長。因此，也須重點維護。

卷輪箱是籽晶提升的核心，卷輪箱內的零件一般情況下不得隨意拆除，必須拆除時，重新安裝時必須保證軟軸對中。軟軸鋼絲繩在使用中不準有死彎現象，并在每次開爐時檢查鋼絲繩是否燒損，如有燒損應及時修整或更換新的鋼絲繩。

除了上面的兩點之外，在每次開爐前應檢查水路系統是否暢通，水溫檢測傳感器安裝是否正常。發現有結垢時應及時清理。在拉晶過程中，若發現水壓報警或漏水時要及時采取措施。真空管道的過濾網每爐要清理一次，抽氣管道每20～30爐清理一次。

編輯GYN